膜厚測定

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蛍光Ｘ線式測定器の自動化システムXDV®-µ SEMI

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> XDV<sup>®</sup>-µ SEMI

FISCHERSCOPE® XDV®-µ SEMI

微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光Ｘ線測定システムです。

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特長

  • 微小構造のウェハー測定用に、ウェハーハンドラーを搭載した完全自動化の特別設計
  • FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行

主な仕様

ウェハー供給部 BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用
ロボット 信頼性の高い4軸、サーボ駆動
エンドエフェクタ 標準吸引式エンドエフェクタ
位置決め 回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション
Ｘ線装置 FISCHERSCOPE® X-RAY XDV-µ® Wafer
Ｘ線検出器 シリコンドリフト検出器（SDD）
Ｘ線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 4種類
X線光学系 ポリキャピラリ―

主な用途

  • ナノスケールのUBMメッキ
  • C4ハンダバンプ
  • 極小ランディングパッドや2.5D／3Dパッケージソリューション

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