微小硬さ試験

製品情報

  1. ホーム
  2. 製品情報
  3. FISCHERSCOPE® HM2000

マイクロレンジの微小硬さ試験機

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> HM2000

FISCHERSCOPE® HM2000

マイクロレンジの微小硬さ試験機です。ISO14577準拠の微小硬さ試験および材料パラメータ測定のためのコンピュータ制御の測定システムです。

特長

  • 高精度なプログラミングXYステージにより、小さい構造体でも±0.5μm(オプション)の位置決め精度で測定
  • 防風チャンバとアクティブ除振台を使用して最大級の除振効果(オプション)が可能
  • 個々に環境設定できるソフトウエアWIN-HCU®によって直感的操作が可能

主な仕様

ISO14577準拠の微小硬さ試験および材料パラメータ測定のためのコンピュータ制御の測定システムです。

測定硬さレンジ 0.001 - 120,000N/mm2
荷重範囲 0.1 - 2,000mN
荷重精度 ≦ 150nN
距離測定精度 ≦ 10pm
最大押し込み深さ 500µm
マイクロスコープカメラ 総合倍率40X、200X、400X
XYステージ(駆動サイズ) X: 170mm、Y: 140mm
位置決め精度 ±2.0µm (±0.5µm;オプション)

主な用途

  • PVD、CVDなどのドライコーティング(膜厚1µm以上)
  • LCD用のスペーサーの圧縮試験
  • 各種メッキ膜

ソリューション

その他の製品紹介

一覧へ戻る この製品に関する
お問い合わせはこちら

お気軽にお問い合わせください