微小硬さ試験

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ナノレンジの微小硬さ試験機

PICODENTOR<sup>®</sup> HM500

PICODENTOR® HM500

ナノレンジの多層コーティング・微細構造物・メッキ断面などの硬さ測定ができる最上位モデルです。プログラミング可能なXYステージ、電動Z軸、高倍率顕微鏡カメラを搭載し、微小部の硬さ測定も容易にできます。

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特長

  • ナノレンジの多層コーティング・微細構造物・メッキ断面などの硬さ測定ができる最上位モデル
  • プログラミング可能なXYステージ、電動Z軸、高倍率顕微鏡カメラを搭載し、微小部測定が容易
  • サンプルの前処理無しでほとんどのサンプルを素早く測定

主な仕様

測定硬さレンジ 0.001 - 120,000N／mm2
荷重範囲 0.005 - 500mN
荷重精度 ≦ 100nN
距離測定精度 ≦ 40pm
最大押し込み深さ 150µm
マイクロスコープカメラ 総合倍率50X、200X、500X
XYステージ（駆動サイズ） X: 170mm、Y: 140mm
位置決め精度 ±0.5µm

主な用途

  • メガネ用レンズなどの保護コーティング
  • ウェハーなどの超薄型の保護コーティング
  • センサー用のナノメーター領域のコーティング

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