膜厚測定

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蛍光Ｘ線式測定器の自動化システムX-RAY 5000シリーズ

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY 5000

FISCHERSCOPE® X-RAY 5000

大面積の測定エリアを持つ、生産プロセスで連続的なインライン測定および分析ができる蛍光Ｘ線測定装置です。

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特長

  • 生産プロセスで連続的なインライン測定および分析ができるオートメーションシステム
  • 大面積の測定エリアを持つため、プライマリーフィルターやコリメーターの自動交換システム、画像認証システムがない構成

主な仕様

Ｘ線検出器 半導体検出器（PIN）あるいはシリコンドリフト検出器（SDD）
Ｘ線管球 標準タイプあるいはマイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 1種類固定
コリメーター 1種類固定

主な用途

  • 太陽電池産業のCIGS、CIS、CdTeなどの膜厚測定
  • 連続した製造ライン
  • 製造工程の監視（スパッタ―やメッキ工程など）
  • 大面積測定

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