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膜厚測定

蛍光X線膜厚計(XRF)

FISCHERSCOPE® X-RAY XULM®

FISCHERSCOPE® X-RAY XULM®

測定方向が下側から照射される蛍光X線膜厚測定器です。電圧とフィルターの組み合わせにより、薄い皮膜から厚い皮膜まで測定が可能です。
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN®

FISCHERSCOPE® X-RAY XAN®

下から照射型のコンパクト設計の蛍光X線膜厚測定器です。宝飾品や貴金属などの品質管理や買い取り査定などの測定にも最適です。
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 500

FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 500

ハンドヘルド型の蛍光X線式膜厚測定および素材分析装置です。測定対象物を移動したりすることなく現場で素早く非破壊で検査することができます。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDL®

FISCHERSCOPE® X-RAY XDL®

比例計数管(PC)を搭載した蛍光X線膜厚測定器です。使いやすい卓上型で、様々なXYステージのラインナップを取り揃えております。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237

FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237

比例計数管(PC)タイプの蛍光X線膜厚測定器です。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種となり、電子部品や半導体産業での機能性多層膜測定などにも適しています。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®

FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®

X線検出器に、半導体検出器(PIN)搭載の「XDAL 237」、シリコン・ドリフト検出器(SDD)搭載の「XDAL 237 SDD」をラインナップ。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種です。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD

X線検出器にシリコンドリフト検出器(SDD)を採用した高性能な蛍光X線膜厚測定器です。電動ステージ付きで非常に薄い皮膜の測定や微量分析ができます。 新開発のデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載!
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ

ポリキャピラリ―レンズ(Polycapillary Optics)を搭載した蛍光X線膜厚測定器です。微小部にX線を集光させるためX線強度が強く、精度よく測定が可能です。新開発のデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載!
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ PCB

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ PCB

ポリキャピラリーレンズ(Polycapillary Optics)を搭載し、大型プリント回路基板と部品の微細構造部分の素材分析および膜厚測定に特別設計された高性能蛍光X線膜厚測定器です。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER

ポリキャピラリーレンズ(Polycapillary Optics)を搭載し、ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された高性能蛍光X線式測定装置です。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD

サンプルとの測定距離を約12mmあるため、段差のある実装された基板の測定に適した素材分析および膜厚測定の高性能蛍光X線膜厚測定器です。 新開発のデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載!
FISCHERSCOPE® X-RAY 4000

FISCHERSCOPE® X-RAY 4000

生産プロセスで連続的なインライン測定および分析ができる蛍光X線測定装置です。
FISCHERSCOPE® X-RAY 5000

FISCHERSCOPE® X-RAY 5000

大面積の測定エリアを持つ、生産プロセスで連続的なインライン測定および分析ができる蛍光X線測定装置です。
FISCHERSCOPE® XDV®-µ SEMI

FISCHERSCOPE® XDV®-µ SEMI

微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システムです。

製品比較表

照射方向:下から測定

スワイプしてスクロールできます
モデル 検出器 X線管球 プライマリフィルター数 コリメーター数/サイズ(mm) ステージ Cスロット
FISCHERSCOPE® X-RAY XULM® FISCHERSCOPE® X-RAY XULM® PC MF 3 4/0.05 x 0.05 –Φ0.3 マニュアル
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 215 FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 215 PIN MF 1 1/Φ1 固定
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 250 FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 250 SDD MF 6 4/Φ0.2 – Φ2 固定
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 252 FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 252 SDD MF 6 4/Φ0.2 – Φ2 マニュアル
FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 500 FISCHERSCOPE® X-RAY XAN® 500 SDD Wターゲット 1 1/Φ2 - -

照射方向:上から測定

スワイプしてスクロールできます
モデル 検出器 X線管球 プライマリフィルター数 コリメーター数/サイズ(mm) ステージ Cスロット
FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® 230 FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® 230 PC Wターゲット 1 1/Φ0.3 手動
FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® 240 FISCHERSCOPE® X-RAY XDL® 240 PC Wターゲット 1 1/Φ0.3 プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237 FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237 PC MF 3 4/0.05 x 0.05 – Φ0.2 プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL® 237 FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL® 237 PIN MF 3 4/Φ0.1 – Φ0.6 プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL® 237 SDD FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL® 237 SDD SDD MF 3 4/Φ0.1 – Φ0.6 プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD SDD MF 6 4/Φ0.1 – Φ3 プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SDD MF 4 ポリキャピラリ(Φ0.02) プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ PCB FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ PCB SDD MF 4 ポリキャピラリ(Φ0.02) プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER SDD MF 4 ポリキャピラリ(Φ0.02) プログラム
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD SDD MF 4 ポリキャピラリ プログラム

オートメーションシステム(自動測定システム)

スワイプしてスクロールできます
モデル 主な用途
FISCHERSCOPE® X-RAY 4000 FISCHERSCOPE® X-RAY 4000 ストリップ部品などのインライン測定
FISCHERSCOPE® X-RAY 5000 FISCHERSCOPE® X-RAY 5000 太陽電池量産などのインライン測定
FISCHERSCOPE® XDV®-µ SEMI FISCHERSCOPE® XDV®-µ SEMI 完全自動化のウェハー測定向け蛍光X線測定システム
※予告なく仕様などの変更がある場合があります。予めご了承ください。

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