膜厚測定

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蛍光X線式測定器XDAL 237 SDD

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDAL<sup>®</sup> 237 SDD

FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL® 237 SDD

X線検出器に、半導体検出器(PIN)搭載の「XDAL 237」、シリコン・ドリフト検出器(SDD)搭載の「XDAL 237 SDD」をラインナップ。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種です。

特長

  • X線検出器に、半導体検出器(PIN)搭載のXDAL 237、シリコン・ドリフト検出器(SDD)搭載のXDAL 237 SDDをラインナップ
  • プログラム機能付き電動式XYステージ搭載
  • ハウジングに細い開口部(Cスロット)があり、大きな板状のサンプルも測定可能
  • 4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種

主な仕様

上から照射型の蛍光X線による膜厚測定と素材分析装置となります。プログラム可能なXYステージにより、自動連続測定をすることも可能です。

型式 XDAL 237 SDD
測定元素範囲 Al(13)~U(92)
X線検出器 シリコン・ドリフト検出器(SDD)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 3種類
コリメーター数/サイズ 4種/Φ0.1mm~Φ0.6mm
本体寸法 570 x 760 x 650mm (幅 x 奥行 x 高さ)
消費電力 最大120W

主な用途

  • 0.1µmからの薄膜分析
  • 電子部品産業・半導体産業における機能膜の測定
  • 多層膜の測定
  • 品質管理における自動測定

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