膜厚測定

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蛍光X線式測定器XDV®-SDD

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDV<sup>®</sup>-SDD

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-SDD

X線検出機にシリコンドリフト検出器を採用した高性能な蛍光X線膜厚測定器です。電動ステージ付きで非常に薄い皮膜の測定や微量分析ができます。

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特長

  • シリコン・ドリフト・ディテクター(SDD)をX線検出器に採用
  • プログラミング可能なXYステージを装備
  • 大型でアクセス性のよい測定チャンバ(クローズドチャンバ―タイプ)

主な仕様

電動ステージ付きで非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析ができます。

型式 XDV-SDD
測定元素範囲 Al(13)~U(92)
X線検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 6種類
コリメーター数/サイズ 4種/Φ0.1mm~Φ3mm
本体寸法 660 x 835 x 720mm (幅 x 奥行 x 高さ)
消費電力 最大120W

主な用途

  • 極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体産業など)
  • スクリーニング分析(RoHS、玩具、包装材基準のための有害物質検査など)
  • NiPの組成分析、厚さ測定

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