膜厚測定

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蛍光Ｘ線式測定器XDL®シリーズ

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDL<sup>®</sup>

FISCHERSCOPE® X-RAY XDL®

比例計数管（PC）を搭載した蛍光Ｘ線膜厚測定器です。使いやすい卓上型で、様々なXYステージのラインナップを取り揃えております。

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特長

  • ハウジングに細い開口部（Cスロット）があり、大きな板状サンプルも測定可能
  • プログラマブルXYステージ付きのモデルで、自動連続測定が可能（XDL 240）

主な仕様

型式 XDL 230、XDL 240
測定元素範囲 Ti（22）～U（92）
Ｘ線検出器 比例計数管（PC）
Ｘ線管球 標準（Wターゲット）
プライマリフィルター 1種類固定
コリメーター数／サイズ 1種固定／Φ0.3mm
本体寸法 570 x 760 x 650mm （幅 x 奥行 x 高さ）
消費電力 最大120W
XYステージ XDL230：手動式
XDL240：電動式

主な用途

  • 電気メッキパーツの測定
  • 電子部品・半導体産業での機能性多層膜測定
  • プリント基板産業のAu、Pd、Ni薄膜測定

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