膜厚測定

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蛍光X線式測定器XDV-μ PCB

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDV<sup>®</sup>-μ PCB

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ PCB

ポリキャピラリーレンズを搭載し、大型プリント回路基板と部品の微細構造部分の素材分析および膜厚測定に特別設計された高性能蛍光X線膜厚測定器です。

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特長

  • 大型プリント回路基板の微細構造部分の測定に設計されたモデル
  • 革新的なポリキャピラリ―レンズを採用することにより、非常に小さな測定スポットにおいても大きな励起強度を得ることが可能

主な仕様

ポリキャピラリーレンズを搭載し、大型プリント回路基板と部品の微細構造部分の素材分析および膜厚測定に特別設計された高性能蛍光X線式測定装置です。

型式 XDV-μ PCB
測定元素範囲 Al(13)~U(92)
X線検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 4種類
コリメーター数/サイズ ポリキャピラリー(約Φ20µm)
本体寸法 670 x 885 x 660mm (幅 x 奥行 x 高さ)
有効サンプル配置エリア 600 x 600mm (幅 x 奥行)
消費電力 最大120W

主な用途

  • 大型プリント回路基板の測定
  • 薄膜の厚さ測定
  • 大型プリント回路基板の測定

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