膜厚測定

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蛍光X線式測定器XDV®-μ LD

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDV<sup>®</sup>-μ LD

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD

サンプルとの測定距離を約12mmあるため、段差のある実装された基板の測定に適した素材分析および膜厚測定の高性能蛍光X線膜厚測定器です。

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特長

  • サンプルとの測定距離が長いロングディスタンスタイプ
  • 段差のある実装された基板の測定に適しています
  • マイクロフォーカスチューブとポリキャピラリレンズ搭載による微小部測定
  • プログラミング可能なXYステージによる自動測定

主な仕様

ポリキャピラリーレンズを採用した蛍光X線式測定装置となります。
また、約12mmのサンプルとの測定距離があるロングディスタンスタイプのため、段差のある実装された基板を非破壊で膜厚測定と素材分析ができます。

型式 XDV-μ LD
測定元素範囲 S(16)~U(92)
X線検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 4種類
コリメーター数/サイズ ポリキャピラリー
測定スポットサイズ 約Φ80µm
測定距離(サンプルとの距離) 約12mm
本体寸法 660 x 835 x 720mm (幅 x 奥行 x 高さ)
消費電力 最大120W

主な用途

  • プリント回路基板、コネクターなどの複雑形状の小さな部品や構造部分の測定
  • 薄膜の厚さ測定 (例)≦0.1µmのAu
  • 複雑な多層コーティングの組成分析、膜厚測定
  • オプションにより、大型基板やフレキシブルプリント配線基板用の拡張プレートの取り付け可能

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