株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ LD
サンプルとの測定距離を約12mmあるため、段差のある実装された基板の測定に適した素材分析および膜厚測定の高性能蛍光Ｘ線膜厚測定器です。 新開発のデジタルパルスプロセッサー「DPP＋」を搭載！
カタログダウンロードポリキャピラリーレンズ（Polycapillary Optics）を採用した蛍光Ｘ線式測定装置となります。
また、約12mmのサンプルとの測定距離があるロングディスタンスタイプのため、段差のある実装された基板を非破壊で膜厚測定と素材分析ができます。
デジタルパルスプロセッサー「DPP＋」を搭載し、従来のDPPに比べ最大50%性能向上し、測定時間の短縮に貢献しています。
| 型式 | XDV-μ LD |
|---|---|
| 測定元素範囲 | S（16）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | シリコンドリフト検出器（SDD） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 4種類 |
| X線光学系 | ポリキャピラリー |
| 測定スポットサイズ | 約Φ80µm |
| 測定距離（サンプルとの距離） | 約12mm |
| 本体寸法 | 660 x 835 x 720mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
