株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237
比例計数管（PC）タイプの蛍光Ｘ線膜厚測定器です。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種となり、電子部品や半導体産業での機能性多層膜測定などにも適しています。
カタログダウンロード上から照射型の蛍光Ｘ線による膜厚測定と素材分析装置となります。プログラム可能なXYステージにより、自動連続測定をすることも可能です。
| 型式 | XDLM 237 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Ca（20）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | 比例計数管（PC） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 3種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／0.05 x 0.05mm～Φ0.2mm |
| 本体寸法 | 570 x 760 x 650mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
