膜厚測定

製品情報

  1. ホーム
  2. 製品情報
  3. FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 237®

蛍光X線式測定器XDLM 237

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDLM 237<sup>®</sup>

FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 237®

比例計数管(PC)タイプの蛍光X線膜厚測定器です。4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種となり、電子部品や半導体産業での機能性多層膜測定などにも適しています。

カタログダウンロード

特長

  • X線管球にマイクロフォーカスチューブを搭載し、より小さな測定スポットで分析
  • ハウジングに細い開口部(Cスロット)があり、大きな板状サンプルも測定可能
  • 4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種

主な仕様

上から照射型の蛍光X線による膜厚測定と素材分析装置となります。プログラム可能なXYステージにより、自動連続測定をすることも可能です。

型式 XDLM 237
測定元素範囲 Ca(20)~U(92)
X線検出器 比例計数管(PC)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 3種類
コリメーター数/サイズ 4種/0.05 x 0.05mm~Φ0.2mm
本体寸法 570 x 760 x 650mm (幅 x 奥行 x 高さ)
消費電力 最大120W

主な用途

  • コネクター、接点部品の膜厚測定
  • 電子部品・半導体産業での機能性多層膜測定
  • プリント基板産業のAu、Pd、Ni薄膜測定

その他の製品紹介

一覧へ戻る この製品に関する
お問い合わせはこちら

お気軽にお問い合わせください