膜厚測定

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蛍光X線式測定器XDV-μ

FISCHERSCOPE<sup>®</sup> X-RAY XDV<sup>®</sup>-μ

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®

ポリキャピラリ―レンズを搭載した蛍光X線膜厚測定器です。微小部にX線を集光させるためX線強度が強く、精度よく測定が可能です。

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特長

  • 微小部にX線を集光しX線強度が強く、精度良く測定可能
  • 薄膜の厚さ測定 (例)0.1µm以下のAuやPd
  • プログラミング可能なXYステージによる自動測定

主な仕様

ポリキャピラリーレンズを採用した蛍光X線式測定装置となります。非常に小さい部品や構造部分を非破壊で膜厚測定と素材分析ができます。

型式 XDV-μ
測定元素範囲 Al(13)~U(92)
X線検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)
X線管球 マイクロフォーカスチューブ
プライマリフィルター 4種類
コリメーター数/サイズ ポリキャピラリー(約Φ20µm)
本体寸法 660 x 835 x 720mm (幅 x 奥行 x 高さ)
消費電力 最大120W

主な用途

  • プリント回路基板、コンタクトピン、リードフレームなどの非常に小さい平らな部品や構造部分の測定
  • 電子部品や半導体製品などで使用される機能性コーティングの測定

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